項(xiàng)目

描述

測(cè)量范圍

Z軸（垂直）

160μm

X軸（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸（垂直）

0.01μm/±20μm

0.02μm/±40μm

0.04μm/±80μm

測(cè)量項(xiàng)目

參數(shù)

Ra，Rq，Rz，Rt

標(biāo)準(zhǔn)

ISO、GB

濾波器

RC，PC-RC，Gauss，D-P

取樣長(zhǎng)度（lr）

0.25,0.8,2.5（mm）

評(píng)定長(zhǎng)度（ln）

ln=lr×n n=5

傳感器

測(cè)量原理

位移式差動(dòng)電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測(cè)力

< 4mN

導(dǎo)頭

紅寶石，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25，Vt=0.135mm/s

lr=0.8，Vt=0.5mm/s

lr=2.5，Vt=1mm/s

返回  Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動(dòng)性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用8.4V，1000mA充電器充電

外形尺寸

119×47×65mm

重量

約380g